Részecske leválasztó rendszerek, PSL leválasztó rendszerek
2300 NPT-2 modell -
Kérjen árajánlatot
A 2300 NPT-2 tartalmaz egy FOUP alapú, kétfokozatú automatikus ostyakezelő rendszert, és beállítható mindkét fokozat 300 mm-es működtetésére vagy az egyik szakaszban lévő 200 mm-es híd alkalmazásokra és a második szakasz 300 mm-es műveleteire. Az ostya érintkezőjét az automatizálási rendszerrel élekkel fogják meg. Legfeljebb 2 spot lerakódás, teljes lerakódás vagy gyűrűs lerakódás helyezhető el 50 különböző méretű forráspalackból. A 10 NPT-2300 képes kezelni mind a PSL gömböket, mind a különféle folyamat részecskéket, például a szilícium-nitridet, a szilícium-oxidot, a titán-oxidot, a volfrámot; Réz és tantál fémek.
Az NPT-2 nem követeli meg az operátort az oldatok keverésével, mivel az NPT-2 figyeli a részecskekoncentrációt, keverés közben az oldatot. Ha új megoldásokra van szükség, a 12 részecskeforrás plug and play. Az NPT-2 célja mind a metrológiai méretválasz-kalibrálás támogatása, mind a részecske ostya-szabványok előállításának elősegítése, hogy megkérdőjelezzék a WET Clean állomások tisztítási hatékonyságát, és javítsák a WET pad tisztítási hatékonyságát az elfogadhatatlan részecskékkel történő folyamatok támogatása érdekében. hozamok. Az NPT-2 erős ROI-t képes biztosítani, így rövid idő alatt fizeti meg magát.
- 20nm - 1um PSL és részecske ostya lerakódás (lásd az 22.37nm lerakódás alábbi képét)
- Opcionális 2 éves garancia, Megelőző karbantartási programok
Részletek - Kérjen árajánlatot
Ezek a részecske-leválasztó rendszerek a legfejlettebb részecske-atomizálási, elektrosztatikus osztályozási és leválasztási technológiával készülnek, hogy rendkívül pontos PSL ostya-szabványokat hozzanak létre a KLA-Tencor, az alkalmazott anyagok, a TopCon, a Hitachi és az ADE ostya-ellenőrző rendszerek kalibrálásához.
A folyamat részecskéit az ostyákra is lerakhatják, hogy megteremtsék a WET Bench részecske szabványokat, hogy megkérdőjelezzék a WET Clean padok tisztítási hatékonyságát.
A tisztítás hatékonyságának javítása 3.0% -ról 10% -ra érhető el az ilyen fejlett részecske-leválasztó eszközökkel történő tisztítási rendszereknél, amelyek kiváló ROI-t eredményeznek. A SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu, stb. Egyforma méretű eljárási részecskéi lerakhatók az ostyákra, hogy részecskéket biztosítsanak a ostya tapadásához, így az ostya tisztító szerszámok realisztikusan értékelhetők.
Az 2300 NPT-2 teljesen automatikusan működik, támogatva az 200mm Bridge követelményeket és az 300mm FOUP követelményeket. Az NPT-2-t úgy tervezték, hogy támogassa az ostya-ellenőrző rendszerek mind a metrológiai méret-válasz kalibrálását; valamint a Wet Bench alkalmazások kikapcsolt, teljesen automatikus működéssel.
2300 NPT-2 jellemzők és alkalmazások - Kérjen árajánlatot
- Nagy felbontású, NIST (Nemzeti Szabványügyi és Technológiai Intézet) nyomon követhető DMA méretezése és osztályozása meghaladja az új SEMI M52, M53 és M58 szabványokat a PSL méret pontosságának és méreteloszlási szélességének.
- Automatikus méretkalibrálás NIST 60.4nm SRM, valamint 100.8nm, 269nm és 895nm NIST SRM segítségével
- Az NPT, a nanorészecske-kalibrálás eltávolítja a háttér-köd-részecskéket, amelyek jelentős méretbeli eltolódást okoznak a hagyományos DMA-alapú PSL-lerakódások során. Az MSP az egyetlen olyan cég, amely ezt az új képességet, az IGAZ MÉRET KALIBRÁLÁSÁT nyújtja ügyfélkörének
- Fejlett differenciálmobilitás-elemző (DMA) technológia, automatikus hőmérsékleti és nyomáskompenzációval, a rendszer jobb stabilitása és a mérési pontosság érdekében.
- A Naptár PM figyelmezteti a síkképernyős kijelzőt (FPD), hogy emlékeztesse a kezelőt arra, hogy karbantartásra van szükség.
- Felhasználóbarát receptvezérelt szoftver
- Az automatikus lerakódási folyamat több lerakódást biztosít egy vagy egy teljes ostyakazettán, amelyet öntisztítás és öblítés követ.
- A fúvókák automatikus pozicionálása és az ostya forgatása különféle lerakódási formák létrehozását teszi lehetővé: többszörös folt, gyűrű alakú, teljes ostya lerakódás és egyéb egyedi formák.
- Az ostya automatikus kezelése gyors, kihangosító nélküli számítógépes kezelést biztosít az 300 mm és az opcionális 200 mm ostyákhoz.
- A CE-jelölés, a SEMI S2, S8, S14 kompatibilis, SEMI M52, SEMI M53 és SEMI M58 szabványok megfelelősége
- Teljes ostyalerakódás, foltos és gyűrűs ostyalerakódás az ostya bármely helyén.
- Tizenkét részecskeforrás az 50 különféle PSL-méretek vagy feldolgozó részecskeméretek hatékony és gyors leválasztásához
- Nagy érzékenység, amely lehetővé teszi a PSL-gömb és a folyamat részecskék lerakódását 20nm-től 1um-ig, vagy opcionálisan
- Helyezze a folyamat részecskéit az ostyákra, hogy reális tapadást biztosítson a részecske és az ostya felülete között a tisztítási folyamat fejlesztése és a tisztítórendszer javítása érdekében, a hatékonyság és az átjárhatóság növelése érdekében.
- Helyezze a PSL gömböket az ostyákra, hogy kalibrációs szabványokat hozzon létre a KLA-Tencor, az alkalmazott anyagok, a Topcon, a Hitachi és az ADE ostya-ellenőrző rendszerek számára.
- Teljes lerakódások, pöttyös lerakások, ívlerakások és gyűrűs lerakódások
- 2300 NPT-2E, EDGE részecskelerakó rendszer
- 2300 NPT-2W, WET részecskelerakó rendszer
Helyezze a PSL-gömböket és dolgozzon fel részecskéket csupasz, filmrétegű és mintás ostyára, hogy megvizsgálja az ostyafelület hatását. Helyezze a folyamat részecskéit a felületre és az EDGE-t a részecskék migrációjának és a WET Clean részecskék migrációjának tanulmányozására a részecskecsökkentő programok támogatása érdekében.
2300 NPT-1 modell - Kérjen árajánlatot
A MODEL 2300 NPT-1 támogatja az összes 200 mm-es és 300 mm-es metrológiai alkalmazást, kézi ostyatöltéssel PSL Wafer Standards előállításához, amely kalibrálja az olyan eszközök méretválasz görbéit, mint a KLA-Tencor SP1, SP2, SPX ostya ellenőrző rendszerek; valamint a Topcon, a Hitachi, az ADE és az AMAT Wafer Inspection Systems. A 2300 NPT-1 rendszer maradványmentes, valós kalibrációs méreteket biztosít a PSL gömbön és a folyamat részecske lerakódásain. E-mailben küldje el John Turnernek a 2300 NPT-1 további részleteit.
- Szabványos 20nm – 1um PSL és részecske ostya lerakódás
- Szabványos kézi ostya betöltése a PEEK ostya érintkezőire
- Opcionális 2 éves garancia, Megelőző karbantartási programok
2300 XP1
- Kérjen árajánlatot
A 2300 XP1 MODEL támogatja a KLA-Tencor 6200, 6400 sorozat, az SP1-TBI, a régebbi TopCon, a Hitachi és az ADE ostya-ellenőrző rendszereket.
- Szabványos 80nm – 1um PSL és részecske ostya lerakódás, kézi betöltés 150mm, 200mm, 300mm;
- Opcionális 50nm alacsonyabb érzékenység, 2 év garancia, Megelőző karbantartási programok