Termékek keresése
Termék kategóriák
PSL gömbök 47 nm, 50 ml-es flakon térfogatú polisztirol latex gyöngyök

Surf-Cal, részecskeméret szabvány, 50 ml térfogat, előkevert 1x10E8 és 1x10E10 koncentráció/ml

SURF-CAL™ részecskeméret-szabványok, amelyeket a pásztázó felületi ellenőrző rendszerek (SSIS) méretkalibrálásához és felügyeletéhez használnak. Az alábbi részecskeméretek megfelelnek a műszergyártók által előírt kalibrációs részecskeméreteknek. Végezzen időszakos kalibrálási ellenőrzéseket, valamint heti méret- és számfigyelést annak érdekében, hogy az ostyaellenőrző szkenner összehasonlítható legyen más helyeken található szkennerekkel. Az összes polisztirol mikrogömböt ionmentesített, szűrt vízben szuszpendáljuk 50 ml-es palacktérfogatban, 3 × 10 E8 vagy 1 × 10 E10 részecske/ml koncentrációban. A *-gal jelölt méretek hasonlóak az adott átmérőjű NIST SRM részecskéihez. A törésmutató 1.59 @ 589 nm (25C) az összes alábbi polisztirol mikrogömb esetében. Minden palack 12 hónapig stabil, és a NIST kalibrációs és nyomon követhetőségi tanúsítványával van csomagolva.

A SURF-CAL, NIST nyomon követhető PSL (polisztirol latex) gömbök csupasz szilícium és mintás lapkákra helyezésével időszakos méretkalibrációs ellenőrzéseket végezhet KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS eszközein, és összehasonlíthatja lapkaellenőrző szkennerét a következő címen található szkennerekkel. más helyszíneken. Az SSIS teljesítményét a gyártási folyamat kritikus szakaszaiban is felmérheti. Az összes terméket ionmentesített, szűrt vízben (DI víz) szuszpendáljuk 50 ml-es palackokban 3 x 10 e10 részecske/ml vagy 1 x 10 e10 részecske/ml koncentrációban. Ezek a Surf-Cal részecskeméret-szabványok polisztirol mikrogömbök, amelyeket Differential Mobility Analyzer (DMA) vagy más méretkizáró technikával méreteztek.

Kategória: Címkék: , , , , , , , , , , , ,

Gyári szám

Koncentráció Szám/ml

Részecske átmérő

Méreteloszlás

 Ár 50 ml-es üvegenként
APPD-047 X 3 108 részecskék/ml 0.047 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
APPD-047B X 1 1010 részecskék/ml 0.047 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
APPD-064 X 3 108 részecskék/ml 0.064 um 0.003μm

$ 295.00   KOSÁRBA
APPD-064B X 1 1010 részecskék/ml 0.064 um 0.003μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
APPD-083 X 3 108 részecskék/ml 0.083 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-083B X 1 1010 részecskék/ml 0.083 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-092 X 3 108 részecskék/ml 0.092 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-092B X 1 1010 részecskék/ml 0.092 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-100* X 3 108 részecskék/ml 0.100 um 0.003μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-100B* X 1 1010 részecskék/ml 0.100 um 0.003μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-125 X 3 108 részecskék/ml 0.126 um 0.003μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-125B X 1 1010 részecskék/ml 0.126 um 0.003μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-155 X 3 108 részecskék/ml 0.155 um 0.003μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-155B X 1 1010 részecskék/ml 0.155 um 0.003μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-200 X 3 108 részecskék/ml 0.202 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-200B X 1 1010 részecskék/ml 0.202 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-204 X 3 108 részecskék/ml 0.204 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-204B X 1 1010 részecskék/ml 0.204 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-215 X 3 108 részecskék/ml 0.220 um 0.003μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-215B X 1 1010 részecskék/ml 0.220 um 0.003μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-305 X 3 108 részecskék/ml 0.304 um 0.004μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-305B X 1 1010 részecskék/ml 0.304 um 0.004μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-365 X 3 108 részecskék/ml 0.360 um 0.005μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-365B X 1 1010 részecskék/ml 0.360 um 0.005μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-500 X 3 108 részecskék/ml 0.498 um 0.006μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-500B X 1 1010 részecskék/ml 0.498 um 0.006μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-800 X 3 108 részecskék/ml 0.809 um 0.006μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-800B X 1 1010 részecskék/ml 0.809 um 0.006μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD-802 X 3 108 részecskék/ml 0.802 um 0.009μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD-802B X 1 1010 részecskék/ml 0.802 um 0.009μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD1100 X 3 108 részecskék/ml 1.112 um 0.011μm

$ 295.00   KOSÁRBA
AP PD1100B X 1 1010 részecskék/ml 1.112 um 0.011μm

$ 1495.00   KOSÁRBA
AP PD1600 X 3 108 részecskék/ml 1.59 um 0.016μm $ 295.00   KOSÁRBA
AP PD2000 X 3 108 részecskék/ml 2.01 um 0.019μm $ 295.00   KOSÁRBA
AP PD3000 X 3 108 részecskék/ml 3.04 um 0.026μm $ 295.00   KOSÁRBA

Mérési módszertan:

A NIST nyomon követhetőségének biztosítása érdekében ezeknek a termékeknek a hitelesített átmérőit transzmissziós elektron- vagy optikai mikroszkóppal vitték át NIST szabvány referenciaanyagokból (2). A bizonytalanságot a NIST Technical Note 1297, 1994-es kiadás "Irányelvek a NIST mérési eredmények bizonytalanságának értékeléséhez és kifejezéséhez" (4) segítségével számították ki. A felsorolt ​​bizonytalanság a kiterjesztett bizonytalanság kettős lefedettségi tényezővel (K=2). A csúcs átmérőjét a részecskeméret-eloszlás megközelítőleg ± 2s tartományának felhasználásával számítottuk ki. A méreteloszlást a teljes csúcs szórásaként (SDS) számítottuk. A variációs együttható (CV) a csúcs átmérőjének százalékában kifejezett standard eltérés. Az FWHM (teljes szélesség fele maximumnál) eloszlást a csúcsmagasság felénél lévő eloszlásként számítottuk ki, a csúcs átmérőjének százalékában kifejezve.

1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)

2. SD Duke és EB Layendecker, "Belső standard módszer a szub-mikron gömb alakú részecskék méretkalibrálására elektronmikroszkóppal", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Útmutató a szilícium ostya felület-ellenőrző rendszerének meghatározásához az 130 nm technológia generációja során.

4. Barry N. Taylor és Chris E. Kuyatt, "Irányelvek a NIST mérési eredmények bizonytalanságának értékeléséhez és kifejezéséhez". NIST Technical Note 1297, 1994-es kiadás, 1994. szeptember.

Kapcsolódó termékek

Fordít "