NIST szabványos referenciaanyag részecskeméret-kalibráció
NIST, szabványos referenciaanyag, polisztirol mikrogömbök és gyöngyök, amelyeket a kalibrációs és szennyeződési lapka szabványokban használtak a KLA és a KLA-Tencor ostyaellenőrző rendszerek méretpontosságának ellenőrzésére.
Leírás
NIST SRM, részecskeméret-szabványok, PSL-gömbök, méret-kalibrálás
A NIST SRM részecskeméret-szabványok a világszerte ismert kalibrációs szabványok minden olyan alkalmazáshoz, amelyhez NIST SRM (méret-referencia anyag) méret-szabvány szükséges, rendkívül pontos méretezéssel, keskeny méretcsúcsokkal és keskeny szórással. Használhatók különféle részecskeméret-berendezések kalibrálására és validálására, beleértve fényszóró műszereket, elektronmikroszkópokat és differenciálmobilitás-elemzőket. Különösen kritikusak a felületi letapogatásellenőrző rendszerek kalibrálásához, amelyeket a szilikon ostyák hibáinak felismerésére és jellemzésére használnak. Pontos referencia-részecskékre van szükség a nagy teljesítményű, költséghatékony ostyagyártáshoz szükséges szkennelési rendszerek fejlesztéséhez és továbbfejlesztéséhez, amely döntő jelentőségű az eszköz miniatürizálásához. A referencia részecskék felhasználhatók egydiszperz diszpergált (egyméretű csúcsú) részecskék szállítására az aeroszolos műszerek tesztelésére, és felhasználhatók az aeroszol-kinetika vizsgálatára és a részecskedetektor válaszának értékelésére.
A modális átmérő hitelesített értéke:
60 nm SRM 1964 polisztirol mikrogömbök 60.39 nm, kiterjesztett bizonytalansága ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A polisztirol mikrogömbök 101.8 nm, kiterjesztett bizonytalansága ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 polisztirol mikrogömbök 269 nm, kiterjesztett bizonytalansága ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 polisztirol mikrogömbök 895 nm, ± 5 nm kiterjesztett bizonytalansággal.
A méréseket differenciálmobilitás-elemzéssel végeztük, és nyomon követhetők a levegőben lévő He-Ne lézerhullámhosszon (632.807 nm), amelyet a hosszúság alapvető standardja alapján határoztak meg.
Polisztirol latex mikrogömbök, 20-900 nm, polisztirol latex részecskék - Regisztrálok
Polisztirol latex mikrogömbök, 1 um-160 um, polisztirol latex részecskék - Regisztrálok
A gömbátmérőket a NIST által kiszámított lineáris méretekkel kalibráljuk. A szabálytalan alakú részecskék helyett a gömböket használják, hogy minimalizálják a formált részecskékre érzékeny lézer szkennerek válaszát. A standardokat vizes szuszpenzióként csomagoljuk 5 milliliter (ml) csepegtetőcsúcsos palackokban. A részecskekoncentrációkat a diszperzió és a kolloid stabilitás megkönnyítése érdekében optimalizálják. A gömbök sűrűsége 1.05 g / cm3, és a törésmutatója 1.59 @ 589 nm, 25 Celsius fokon mérve.
Minden csomag tartalmaz NIST kalibrálási és nyomonkövethetőségi tanúsítványt, amely tartalmazza a kalibrálási módszer és annak bizonytalanságának leírását, valamint a kémiai és fizikai tulajdonságok tábláját. Anyagbiztonsági adatlap szintén rendelkezésre áll kezelési és ártalmatlanítási utasításokkal. A PSL palackok sorszámozva vannak a kényelmes műszaki kiszolgálás és támogatás érdekében.
NIST SRM gömbök | 60.4nm, 101.8nm, 269nm és 895nm |
Részecske összetétele | Polisztirol latex, PSL gömbök |
Részecske sűrűsége | 0.625 g / cm3 |
Törésmutató | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
Palack méret | 5 ml |
Lejárati idő | ≤ 24 hónap |
adalékok | Nyomokban felületaktív anyagot tartalmaz |
Javasolt tárolási hőmérséklet. | 2-8 ° C |
Palack mérete és mennyisége | 5ml üveg |
PSL gömbök, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
Termék rész |
Névleges átmérő |
Hitelesített átlagos csúcs |
Std. Fejlesztő és önéletrajz |
Szilárd anyag tartalom |
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |