Részecske ostya szabványok

A PSL ostyastandardokat és a szilícium-dioxid-részecskék-szelet-standardokat részecskelerakó rendszerrel állítják elő, amely először a PSL-méretű csúcsot vagy a szilícium-dioxid-méretű csúcsot elemzi differenciális mobilitás-analizátorral (DMA). A DMA egy rendkívül pontos részecskeszkennelő eszköz, amely kondenzációs részecskeszámlálóval és számítógépes vezérléssel kombinálva rendkívül pontos méretcsúcsot izolál a NIST Traceable részecskeméret-kalibráció alapján. A méretcsúcs ellenőrzése után a részecskeméretű áramot az elsődleges szilícium, lapka szabványos felületére irányítják; úgy számítják, hogy az ostya mentén teljes lerakódásként, vagy az ostya körüli meghatározott helyeken foltként kerül lerakásra. Az ostyaszabványok szemcseméretben rendkívül pontosak a KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor A, Hitachi, Tencor 6220, 6200 kalibrálásához. valamint a Topcon SSIS eszközök és szeletvizsgáló rendszerek. – A 2300 XP1 részecskeleválasztó rendszer 150 mm-es, 200 mm-es és 300 mm-es ostyákon tud lerakódni PSL gömbök vagy 30 nm és 2 um közötti szilícium-dioxid részecskék használatával.

Diferenciális mobilitás analizátor, DMA feszültség letapogatás, szilika méret csúcs, 100nm
Differenciálmobilitás-elemző készülék, DMA feszültség, kovasav méretű csúcs 100nm-nél
A PSL gömbök méret- és szilícium-dioxid méret-szabványait egy diferenciális mobilitási elemzővel szkenneljük, hogy meghatározzuk a valódi méretcsúcsot. Miután a méretcsúcsot elemezték, az ostya-standard berakható teljes lerakódás vagy foltos lerakódás formájában, vagy többszörös foltos lerakódásos ostya standardként. A szilícium-dioxid méretű csúcsot az 100 nanométeren (0.1 mikron) fent letapogatjuk, és a DMA egy valódi szilícium-dioxid-csúcsot érzékel 101nm-nél.

A teljes lerakódás vagy a foltos lerakódás ostya szabványai

Írjon nekünk!
A részecskelerakó rendszer rendkívül pontos, PSL kalibrációs ostya szabványokat és szilícium-dioxid szennyeződés ostya szabványokat biztosít.

2300 XP1 részecske-leválasztó rendszerünk automatikus részecske-lerakódás-ellenőrzést biztosít a PSL ostya-szabványok és a szilícium-dioxid ostya-szabványok előállításához.

Részecske leválasztási alkalmazások
Nagy felbontású, NIST nyomon követhető DMA (differenciálmobilitási analizátor) méretezése és osztályozása meghaladja az új SEMI M52, M53 és M58 szabványokat a PSL méret pontosságának és méreteloszlási szélességének
A lerakódás méretének automatikus kalibrálása 60nm, 100nm, 269nm és 900nm értéknél
Fejlett differenciálmobilitás-elemző (DMA) technológia, automatikus hőmérsékleti és nyomáskompenzációval, a rendszer jobb stabilitása és a mérési pontosság érdekében
Az automatikus lerakódási folyamat több ostyás lerakódást biztosít egy ostyán
Teljes ostya lerakódások az ostyán; vagy foltos lerakódások az ostya bármely helyén
Nagy érzékenység, amely lehetővé teszi a PSL-gömb és a szilícium-dioxid részecskék lerakódását 20nm-től 2um-ig
Helyezzen szilícium-dioxid-részecskéket az ostyaellenőrző rendszerének kalibrálására nagy teljesítményű lézerszkenneléssel
Helyezzen be PSL gömböket ostyaellenőrző rendszerének kalibrálásához alacsony teljesítményű lézerszkenneléssel
Helyezze a PSL gömböket és a szilícium-dioxid részecskéket az elsődleges szilícium ostya szabványokra, vagy az 150mm fotómaszkjaira.

PSL kalibrációs ostya szabvány, szilícium-dioxid szennyeződés ostya szabvány
A részecske leválasztó eszközöket egy nagyon pontos PSL méretű vagy szilícium-dioxid részecskeméret-szabvány elhelyezésére használják a ostya-szabványon a különféle ostya-ellenőrző rendszerek kalibrálásához.

PSL kalibrációs ostya-szabvány az ostya-ellenőrző rendszerek kalibrálásához, alacsony fogyasztású lézer segítségével az ostya beolvasásához.
Szilícium-dioxid-szennyeződéses ostya-szabvány A ostya-ellenőrző rendszerek kalibrálásához nagy teljesítményű lézerrel, az ostya szkenneléséhez.
Kalibrációs maszk standard vagy szilika maszk standard
Írjon nekünk!
A 2300 XP1-es termékünk a NIST nyomon követhető, tanúsított maszkjait 125 mm-es és 150 mm-es boroszilikát maszkokra helyezi.

PSL kalibrációs maszk szabvány 125 mm-es maszkokon
Szilícium-dioxid szennyeződés szabvány az 150mm maszkokon