Surf-Cal, részecskeméret szabvány, 50 ml térfogat, előkevert 1x10E8 és 1x10E10 koncentráció/ml
SURF-CAL™ részecskeméret-szabványok, amelyeket a pásztázó felületi ellenőrző rendszerek (SSIS) méretkalibrálásához és felügyeletéhez használnak. Az alábbi részecskeméretek megfelelnek a műszergyártók által előírt kalibrációs részecskeméreteknek. Végezzen időszakos kalibrálási ellenőrzéseket, valamint heti méret- és számfigyelést annak érdekében, hogy az ostyaellenőrző szkenner összehasonlítható legyen más helyeken található szkennerekkel. Az összes polisztirol mikrogömböt ionmentesített, szűrt vízben szuszpendáljuk 50 ml-es palacktérfogatban, 3 × 10 E8 vagy 1 × 10 E10 részecske/ml koncentrációban. A *-gal jelölt méretek hasonlóak az adott átmérőjű NIST SRM részecskéihez. A törésmutató 1.59 @ 589 nm (25C) az összes alábbi polisztirol mikrogömb esetében. Minden palack 12 hónapig stabil, és a NIST kalibrációs és nyomon követhetőségi tanúsítványával van csomagolva.
A SURF-CAL, NIST nyomon követhető PSL (polisztirol latex) gömbök csupasz szilícium és mintás lapkákra helyezésével időszakos méretkalibrációs ellenőrzéseket végezhet KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS eszközein, és összehasonlíthatja lapkaellenőrző szkennerét a következő címen található szkennerekkel. más helyszíneken. Az SSIS teljesítményét a gyártási folyamat kritikus szakaszaiban is felmérheti. Az összes terméket ionmentesített, szűrt vízben (DI víz) szuszpendáljuk 50 ml-es palackokban 3 x 10 e10 részecske/ml vagy 1 x 10 e10 részecske/ml koncentrációban. Ezek a Surf-Cal részecskeméret-szabványok polisztirol mikrogömbök, amelyeket Differential Mobility Analyzer (DMA) vagy más méretkizáró technikával méreteztek.
Gyári szám | Koncentráció Szám/ml | Részecske átmérő | Méreteloszlás | Ár 50 ml-es üvegenként |
APPD-047 | X 3 108 részecskék/ml | 0.047 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
APPD-047B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.047 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
APPD-064 | X 3 108 részecskék/ml | 0.064 um | 0.003μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
APPD-064B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.064 um | 0.003μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
APPD-083 | X 3 108 részecskék/ml | 0.083 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-083B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.083 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-092 | X 3 108 részecskék/ml | 0.092 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-092B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.092 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-100* | X 3 108 részecskék/ml | 0.100 um | 0.003μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-100B* | X 1 1010 részecskék/ml | 0.100 um | 0.003μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-125 | X 3 108 részecskék/ml | 0.126 um | 0.003μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-125B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.126 um | 0.003μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-155 | X 3 108 részecskék/ml | 0.155 um | 0.003μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-155B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.155 um | 0.003μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-200 | X 3 108 részecskék/ml | 0.202 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-200B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.202 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-204 | X 3 108 részecskék/ml | 0.204 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-204B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.204 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-215 | X 3 108 részecskék/ml | 0.220 um | 0.003μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-215B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.220 um | 0.003μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-305 | X 3 108 részecskék/ml | 0.304 um | 0.004μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-305B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.304 um | 0.004μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-365 | X 3 108 részecskék/ml | 0.360 um | 0.005μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-365B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.360 um | 0.005μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-500 | X 3 108 részecskék/ml | 0.498 um | 0.006μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-500B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.498 um | 0.006μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-800 | X 3 108 részecskék/ml | 0.809 um | 0.006μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-800B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.809 um | 0.006μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD-802 | X 3 108 részecskék/ml | 0.802 um | 0.009μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD-802B | X 1 1010 részecskék/ml | 0.802 um | 0.009μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD1100 | X 3 108 részecskék/ml | 1.112 um | 0.011μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD1100B | X 1 1010 részecskék/ml | 1.112 um | 0.011μm | $ 1495.00 KOSÁRBA |
AP PD1600 | X 3 108 részecskék/ml | 1.59 um | 0.016μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD2000 | X 3 108 részecskék/ml | 2.01 um | 0.019μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
AP PD3000 | X 3 108 részecskék/ml | 3.04 um | 0.026μm | $ 295.00 KOSÁRBA |
Mérési módszertan:
A NIST nyomon követhetőségének biztosítása érdekében ezeknek a termékeknek a hitelesített átmérőit transzmissziós elektron- vagy optikai mikroszkóppal vitték át NIST szabvány referenciaanyagokból (2). A bizonytalanságot a NIST Technical Note 1297, 1994-es kiadás "Irányelvek a NIST mérési eredmények bizonytalanságának értékeléséhez és kifejezéséhez" (4) segítségével számították ki. A felsorolt bizonytalanság a kiterjesztett bizonytalanság kettős lefedettségi tényezővel (K=2). A csúcs átmérőjét a részecskeméret-eloszlás megközelítőleg ± 2s tartományának felhasználásával számítottuk ki. A méreteloszlást a teljes csúcs szórásaként (SDS) számítottuk. A variációs együttható (CV) a csúcs átmérőjének százalékában kifejezett standard eltérés. Az FWHM (teljes szélesség fele maximumnál) eloszlást a csúcsmagasság felénél lévő eloszlásként számítottuk ki, a csúcs átmérőjének százalékában kifejezve.
1. "The National Technology Roadmap for Semiconductors", Semiconductor Industry Association (1999)
2. SD Duke és EB Layendecker, "Belső standard módszer a szub-mikron gömb alakú részecskék méretkalibrálására elektronmikroszkóppal", Fine Particle Society (1988)
3. SEMI M52 - Útmutató a szilícium ostya felület-ellenőrző rendszerének meghatározásához az 130 nm technológia generációja során.
4. Barry N. Taylor és Chris E. Kuyatt, "Irányelvek a NIST mérési eredmények bizonytalanságának értékeléséhez és kifejezéséhez". NIST Technical Note 1297, 1994-es kiadás, 1994. szeptember.